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新闻动态

硅片清洗剂的介绍

2016-09-06 点击数:547
  硅片清洗剂广泛应用于光伏,电子等职业硅片清洁;由于硅片在运输过程中会有所污染,外表洁净度不是很高,对行将进行的腐蚀与刻蚀发生很大的影响,所以首要要对硅片外表进行一系列的清洁操作。清洁的一般思路首要是去掉外表的有机沾污,然后溶解氧化膜,由于氧化层是“沾污陷进”,会引起外延缺点;再去掉颗粒、金属等,同时使硅片的外表钝化。
  目前硅片清洗剂多选用传统的RCA清洁办法,不只能够去掉硅片外表的金属、有机物等,还能够去掉小颗粒等污染物。